தயாரிப்பின் சிறப்பம்சம்: குறைக்கடத்தித் தகடு பதப்படுத்துதலுக்கான லேசர் வெப்பமூட்டல்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் வேஃபர் அனீலிங் ஒரு முக்கியமான செயல்முறையாகும். இது டோபன்ட் செயல்படுத்தல், லேட்டிஸ் மீட்டமைப்பு மற்றும் மிக ஆழமற்ற சந்தி (USJ) உருவாக்கம் ஆகியவற்றை உள்ளடக்கியது. வழக்கமான உலை அனீலிங் மற்றும் விரைவான வெப்பச் செயலாக்கம் (RTP) ஆகியவை அதிக வெப்பச் செலவுகள், மோசமாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட டோபன்ட் பரவல் மற்றும் போதுமான சீரற்ற தன்மை போன்ற குறைபாடுகளைக் கொண்டுள்ளன. இதனால், 7 nm, 5 nm மற்றும் அதற்கும் மேற்பட்ட மேம்பட்ட தொழில்நுட்ப முனைகளுக்கு, குறிப்பாக கேட்-ஆல்-அரவுண்ட் (GAA) கட்டமைப்புகள் மற்றும் 3D NAND ஃபிளாஷ் நினைவகத்திற்கு, அவை போதுமானதாக இல்லை. லேசர் அடிப்படையிலான வேஃபர் அனீலிங், அதன் நிலையற்ற உயர்-ஆற்றல் கதிர்வீச்சு, மைக்ரான் அளவிலான இடஞ்சார்ந்த துல்லியம் மற்றும் குறைந்தபட்ச வெப்பப் பரவல் ஆகியவற்றால், இந்த சவாலான உற்பத்தித் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்கான அடுத்த தலைமுறை மையச் செயல்முறையாக உருவெடுத்துள்ளது.

லேசர் வெப்பமாக்கலின் அடிப்படைக் கொள்கை

வேவ் ஆப்டிக்ஸ் லேசர் வெப்பமூட்டும் தலையானது, வேஃபர் மேற்பரப்புகளைத் துல்லியமாகக் கதிர்வீச்சு செய்வதற்காக, உயர் ஆற்றல் மற்றும் வெப்பரீதியாக சீரான லேசர் கற்றைகளை வழங்கும் ஒரு தனியுரிம ஒளியியல் வடிவமைப்பைக் கொண்டுள்ளது. இந்தப் பச்சை லேசர், சிலிக்கான் அடிப்படையிலான பொருட்களுடன் (SiC உட்பட) சிறந்த உறிஞ்சுதல் பொருத்தத்தை வழங்குகிறது, இது வேஃபரைச் சேதப்படுத்தாமல் உயர் செயல்திறன் கொண்ட வெப்ப சிகிச்சையைச் சாத்தியமாக்குகிறது. இது அயனி பதிக்கப்பட்ட சேதமடைந்த அடுக்கின் மறுபடிகமாக்கலையும், திறமையான டோபன்ட் செயல்படுத்தலையும் எளிதாக்குகிறது. அதைத் தொடர்ந்து, அடி மூலக்கூறின் உயர் வெப்பக் கடத்துத்திறன் அதிவேகக் குளிரூட்டலைச் சாத்தியமாக்குகிறது, இது படிக அமைப்பை உறைய வைத்து டோபன்ட் பரவலைத் தடுக்கிறது. இந்தச் செயல்முறை, உயர் செயல்படுத்தல் செயல்திறன் மற்றும் செங்குத்தான (திடீர்) சந்திப்பு வடிவம் ஆகிய இரண்டையும் கொண்ட மிக ஆழமற்ற சந்திப்புகளை வெற்றிகரமாக உருவாக்குகிறது.

வேஃபர் செயலாக்க விளைச்சலை மேம்படுத்துவதற்கு லேசர் வெப்பமூட்டும் பதப்படுத்துதல் இன்றியமையாதது.

1. கற்றைச் சீர்மை: தட்டையான மேற்புறக் கற்றைப் புள்ளியின் ஆற்றல் சீர்மை 95%-ஐத் (வழக்கமாக) தாண்டுகிறது, இது உள்ளூர் அதிகப்படியான உருகுதல் அல்லது குறைவான பதப்படுத்துதலை நீக்குகிறது.
2. ஆற்றல் நிலைத்தன்மை: தொடர்ச்சியான வெளியீட்டு ஆற்றல் ஏற்ற இறக்கம் 2%-க்கும் குறைவாக இருப்பதால், வேஃபருக்கு வேஃபரும், தொகுதிக்குத் தொகுதியும் சிறப்பான நிலைத்தன்மை உறுதி செய்யப்படுகிறது.
3. மேற்பரப்பு வடிவத் துல்லியம்: ஒளியியல் கூறுகள், நன்கு கட்டுப்படுத்தப்பட்ட அலைமுகச் சிதைவுடன் நானோமீட்டர் அளவிலான PV/RMS மதிப்புகளைக் கொண்டுள்ளன, இது வெப்பப் புள்ளி சேதத்தைத் தடுக்கிறது.
4. குவிய ஆழம் மற்றும் கற்றை வடிவமைத்தல்: தனிப்பயனாக்கக்கூடிய குவிய ஆழம், கற்றை ஒருங்கிணைப்பான் ஒருபடித்தாக்கலுடன் இணைந்து, பெரிய விட்டம் கொண்ட சிலிக்கான் தகடுகளின் முழுப் புல வருடுதலை ஆதரிக்கிறது.
5. அலைநீளப் பொருத்தம்: ஆற்றல் பயன்பாட்டுத் திறனை அதிகபட்சமாக்குவதற்காக, சிலிக்கான் மற்றும் மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்திகளின் (எ.கா., SiC, GaN) அதிக உறிஞ்சும் அலைப்பட்டைகளுக்கு உகந்ததாக்கப்பட்டுள்ளது.

வழக்கமான பதப்படுத்துதலை விட மூன்று முக்கிய நன்மைகள்

1. கலப்படப் பொருள் பரவலை மிகச்சிறப்பாக அடக்குதல் - வெப்ப வெளிப்பாடு நானோநொடி முதல் மில்லிநொடி வரையிலான வரம்பிற்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுவதால், கலப்படப் பொருள் பரவல் ஏறக்குறைய பூஜ்ஜியமாக உள்ளது. இந்தத் திறனை உலை பதப்படுத்துதல் அல்லது RTP மூலம் அடைய முடியாது.

2. குறைந்த வெப்பச் செலவு மற்றும் குறைந்தபட்ச சாதனச் சேதம் - வேஃபரின் மேற்பரப்பு மட்டுமே தற்காலிக உயர் வெப்பநிலையை அடைகிறது, இதன் விளைவாக அடிமூலக்கூறு அல்லது சாதனக் கட்டமைப்புகளில் வெப்ப உருக்குலைவு ஏற்படுவதில்லை மற்றும் இடைமுகச் சிதைவும் ஏற்படுவதில்லை.

3. துல்லியமான தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட பகுதி பதப்படுத்தல் - சரிசெய்யக்கூடிய மைக்ரான் அளவிலான கற்றைப் புள்ளிகள், 3D ஒருங்கிணைப்பு மற்றும் பல்லின ஒருங்கிணைந்த சாதனங்களுக்கான பகுதிசார் பதப்படுத்தலை ஆதரிக்கின்றன.

பயன்பாட்டு சூழ்நிலைகள்

மேம்பட்ட லாஜிக் (GAA/CFET), DRAM/3D NAND, SiC/GaN பவர் சாதனங்கள், SOI, மற்றும் மைக்ரோ/நானோ சாதனங்களுக்கான சோர்ஸ்/டிரெய்ன் ஆக்டிவேஷன், சேனல் ரிப்பேர், மற்றும் ஓமிக் காண்டாக்ட் அனீலிங் ஆகியவை இதன் பயன்பாடுகளில் அடங்கும். லேசர் அனீலிங், உற்பத்தி அளவு மற்றும் சாதனத்தின் செயல்திறன் ஆகிய இரண்டிலும் ஒரே நேரத்தில் மேம்பாடுகளை வழங்குகிறது.

லேசர் பதப்படுத்துதல், வேஃபர் செயலாக்கத்தை முழுமையான (பேலன்ஸ்) பதப்படுத்துதலில் இருந்து துல்லியமான உள்ளூர் பதப்படுத்துதலுக்கு மாற்றுகிறது. அதன் சக்திவாய்ந்த ஒளியியல் தொழில்நுட்பம், மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி முனைகளின் தொடர்ச்சியான விரிவாக்கத்திற்கும் செயல்திறன் மேம்பாடுகளுக்கும் துணைபுரிகிறது.

தயாரிப்பு விவரக்குறிப்பு தாள்